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产品中心
扩散炉炉膛

 一、炉体材料:


   炉丝:Φ6Φ10mm康泰尔/吉泰安高温电热合金丝。

   绝缘子:采用99瓷制作,碳化硅管用高脚,石英管用矮脚。

   保温棉采用英国摩根公司生产的高温保温材料。

    外壳: 304不锈钢板卷制而成,连接处采用不锈钢拉铆钉连接。

    热偶座:进口弹簧卡状固定座。

    把口环:陶瓷纤维把口环,既保温,又有一定机械强度。 

二、炉体参数:

     工作温度:   ≤1300℃

      恒温区长度: 500mm-1000mm

    炉体内径:   Φ90Φ360 mm3~12英寸)

★   规范使用:   寿命可达20个月以上(1200℃

★   替代进口:   全方位配套

三、应用:

       青岛财神汇彩票电子有限公司生产的扩散炉体主要用做半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国TEMPRESSTHERMCO,荷兰ASM,英国BTU等国外多种型号扩散炉配套(替代进口),采用国外先进的加工工艺,选用进口材料,可应用于处理312英寸硅片的扩散炉/太阳能电池片扩散炉。


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