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产品中心
扩散炉
青岛财神汇彩票电子有限公司专业生产的:半导体用扩散炉是半导体加工中的典型热处理设备,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
产品描述:   ◆软着陆载片装置 软着陆送料装置,避免了SiC桨的遮挡影响,提高了扩散均匀性。同时桨的清洗周期大                      幅度延长。
                  ◆高精度温度控制 新型炉体设计,提高了温度稳定性;配合高精度温控仪的使用,保证工艺过程中温度的                      快速稳定。
                  ◆高性能进口元器件组合 关键件采用进口管件,且为半导体级别;优质的元器件组合,从而保证成膜质                        量         
主要技术参数 : ◆工艺管数量:1-4管
                       ◆工艺管口径:Φ90-360mm(3~12英寸)
                       ◆结构型式:卧式热壁型
                       ◆工作温度范围:400~1280℃
                       ◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm  
                       ◆工艺均匀性:≤±5%(30~60欧姆)
                       ◆气体流量设定精度:±1%F.S
                       ◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s  
                       ◆超净工作台:净化等级:100级(万级厂房)             噪音:≤62dB(A)             震动:≤3μm                         ◆控制方式: 工业微机控制
                       ◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制 
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