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产品中心
LED专用合金炉
产品简介:
LED专用合金炉主要满足LED芯片制造行业,对圆片及残片进行合金、退火、扩散、氧化等工艺。
关键件全部采用进口件,具有高可靠性。
具有可编程的升、降温功能。
具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。
可存储九条工艺曲线。每条工艺曲线最多有九步。
曲线间可以任意链接、重复。
具有高抗干扰能力。
具有多种工艺管路,可供用户随意灵活配置。
可为您提供斜滚式推拉舟系统,石英双杆推拉舟系统及SiC浆推拉舟系统。
主要技术参数:
外型形式:卧式1—4管结构,水平炉管
工作温度:200℃—1100℃
恒温区长度:≥600mm
硅片规格:适用于2—6英寸硅片以及碎片
恒温区精度:≤±1℃(在400—1000℃范围内)
单点温度稳定性、重复性:≤±1℃/24h(在400—1000℃范围内)
温度过冲平衡:载料进炉,温度平衡到工艺时间,低于10分钟。
工艺气体及控制:氮气、氧气。MFC或浮子流量计控制
气路系统气密性:1×10—7PaM3/s
送料机构:悬臂石英杆载料,手动
报警系统:工艺气体压力异常报警、断电报警、超温报警、极限超温报警
控制方式:工控机总程控制、触摸屏控制
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