> 微电子事业部
> 6寸扩散炉炉管,热处理电炉专用加热炉体供应
> 专业定制各种加热水冷【炉体】
> 太阳能炉体
> 氢氧点火炉
> 退火炉--非晶带材连续式退火炉
> 隧道式烧结炉
> 扩散炉--立式扩散炉
> 炉体
> 水冷炉体
> 氢氧点火炉
> 扩散炉炉体
> 异型炉体
> 拐角炉体
> 异形不规则炉体
> 程控高低温扩散炉
> 试验扩散炉
> 半导体扩散炉
> 镓扩路
> 真空烧结炉
> LED专用合金炉
> 微控高低温扩散炉
> LED专用交换炉
> 太阳能扩散炉
> 低压化学气相沉积设备
> 链式炉
> 隧道炉
> 链式烧结炉
> 氢气炉
> 整流器专用焊接炉
> 链式烧结炉
> 高精度智能温度控制仪
> 真空烧结炉
> 真空炉
> 匀胶机
> 电子电力事业部
> 20℃恒温源瓶控制器
> 扩散炉炉体
> 可控硅模块
> 立式水冷高温炉体
> 日本岛电智能温度控制器
> 开合炉体--炉体
> 炉体--开合炉体
> 扩散炉炉体
> 自动化事业部
> 非晶炉--非晶带材连续式退火炉
> 焊接炉--IGBT真空焊接炉--青岛财神汇彩票电子有限公司
> 加热炉膛
> 温控系统改造
> 扩散炉
> PID智能温控柜
> 温控系统
> 非晶带材退火炉
> 焊接炉--IGBT焊接炉
> 真空炉
> 扩散炉--可控硅专用扩散炉
> 卧式扩散炉--扩散炉
> 高温卧式扩散炉
> 扩散炉--微控扩散炉
> 真空焊接炉
> 真空供晶炉
 
产品中心
程控高低温扩散炉
  外型形式:卧式1—4管结构 程控高低温 扩散炉主要满足半导体电力电子器件行业、大功率集成电路等行业,对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。

 技术指标:
       可处理硅片尺寸:2—8英寸
       工作温度:200℃—1300℃
       恒温区长度及精度:200mm—1100mm≤±0.5℃
       单点温度稳定性、重复性:≤±1.5℃/24h
       温度斜变:可控升温速率20℃/min,
       可控降温速率:5℃/min
       送片装置:全自动悬臂推拉舟、拉杆是推拉舟、手动推拉
       气路系统:1—5路工艺气体/管
       气体控制:全自动MFC、手动浮子流量计
       控制方式:工控机、触摸屏
© 2010-2020 Copyright Baidu.com - All Rights Reserved  青岛财神汇彩票电子有限公司 版权所有
地址:山东省青岛市即墨市马山东路陈家河工业园   电话:0532-88533525  传真:0532-67720618  网址:http://www.bjxn888.com