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产品中心
太阳能扩散炉
设备用途:
该扩散炉供太阳能电池片生产线上156mm×156mm/125mmX125mm方片扩散、氧化、退火等工艺使用。有四套独立的工艺炉管。 
产品描述:
◆关键件全部采用进口件,具有高可靠性。
◆采用PC作为控制机,对炉温、气体流量、阀门动作进行自动控制,并管理全部工艺时序 
◆具有多种工艺管路,可供用户随意灵活配置。
◆具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。
◆控温精度好,温区控温稳定性好。
◆新型炉体设计结构,保证工艺过程中温区温度的快速稳定,更适合于连续性大规模生产。
◆闭管式扩散系统更洁净、更环保。 
 
主要技术指标:   
◆工作温度: 300~1300℃
◆有效口径 根据用户扩散片确定,可订制
◆恒温区长度: 1080mm(可根据用户要求定制)
◆温区精度 (静态闭管测试):
      600℃<工作温度<1200℃: ±0.5℃
      300℃≤工作温度≤600℃: ±1℃
◆单点温度稳定性(静态闭管测试):
      600℃<工作温度<1200℃: ±0.5℃/24h
      300℃≤工作温度≤600℃: ±1℃/24h
◆温度斜变能力:
      最大可控升温速度(300~1300℃):15℃/min
      最大降温速度(1300~900℃): 5℃/min
◆气体流量设定精度: ±2%FS
◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s
◆自动送料装置行程: ~2000mm
      速度: 5~1000mm/min
      SiC浆承重 19kg
◆装片数量 400片/管
◆净化台洁净度 100级(10000级厂房)
◆三相五线制 380V±10%,50Hz±10%Hz;
◆冷却水: 2~4Kgf/cm2,~8L/min 
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